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L´énergie photovolta‹que est une énergie renouvelable très prometteuse qui permet une transformation directe de la lumière du soleil en électricité. Cependant le coût de fabrication des cellules photovolta‹ques reste onéreux. Pour la rendre plus compétitif, l´une des solutions consiste à développer des procédés industriels de traitement de surfaces (texturisation, polissage...) par voix sèche. Dans cette perspective, ce travail est centrée sur la réduction des pertes optiques sur la face avant et à l´intérieur de la cellule. Pour cela un réacteur plasma de type indirect a été con‡u et breveté par la société SEMCO ENGINEERING. Son développement a été mené tout au long de cet ouvrage par l´étude des principaux paramètres influen‡ant les procédés de gravure plasma et au travers d´applications sur cellules. Cette étude a permis d´obtenir des gravures uniformes sur cellules comparé à la gravure humide (texturisation acide) par ajustement de ces principaux paramètres. Le développement du procédé de texturisation plasma a conduit à une amélioration du rendement de conversion moyen de l´ordre de 0,2 à 0,4% par rapport à la technologie classique.

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